晶片級器件、芯片X射線輻照儀

用途：該儀器(qi)可適用不同種類器(qi)件(jian)(jian)(jian)的(de)輻(fu)照，適用于器(qi)件(jian)(jian)(jian)輻(fu)射效應提(ti)(ti)參建模(mo)(mo)的(de)試(shi)(shi)驗平(ping)臺(tai)，在器(qi)件(jian)(jian)(jian)設(she)計(ji)、流片(pian)階(jie)段給出加固建議(yi)，評估抗(kang)(kang)輻(fu)射性能。為晶片(pian)級器(qi)件(jian)(jian)(jian)輻(fu)照、提(ti)(ti)參提(ti)(ti)供試(shi)(shi)驗條件(jian)(jian)(jian)，形成面向抗(kang)(kang)輻(fu)射器(qi)件(jian)(jian)(jian)研制全過(guo)程的(de)輻(fu)射效應試(shi)(shi)驗評估、提(ti)(ti)參建模(mo)(mo)共性技術服務平(ping)臺(tai)，為元器(qi)件(jian)(jian)(jian)設(she)計(ji)加固工藝的(de)發展提(ti)(ti)供試(shi)(shi)驗技術支撐。

  系統參數

1. X射線球(qiu)管(guan)最高電壓(ya)：160kV

2. 線束角度: 40°

3. 系統(tong)最大功(gong)率：6000W

4. X射線球管(guan)焦點尺寸：5.5 mm

5. 可調(diao)整照射距離(SSD)：OEM，以最終(zhong)設計為準

6. 劑量(liang)(liang)控制：配置(zhi)實時劑量(liang)(liang)監(jian)控儀(yi)，劑量(liang)(liang)率、累(lei)積劑量(liang)(liang)，輻(fu)照時間實時顯現。劑量(liang)(liang)率檢測范圍最大＞600gy/min。

7. 冷卻(que)器：集成的閉合回路熱交換器

8. 載物臺(tai)：電動操作

9. 控制：PLC控(kong)制

10. 儀器具備門機連(lian)鎖和(he)警示(shi)燈，確(que)保使用安全(quan)性。

11. 同軸槽型常(chang)高(gao)溫吸(xi)附(fu)卡盤（OEM）

12. 卡盤XY位移(yi)平臺，Z軸快速升(sheng)(sheng)降(jiang)，帶微調升(sheng)(sheng)降(jiang)，卡盤可旋(xuan)轉±45°

13. PSM1000顯微鏡(jing)、HDMI接口(kou)高清(qing)（200萬像素）CCD（可選配其他）

14. 顯微鏡XY位移平臺2＂*2＂

15. 防震桌900mm*800mm（最終(zhong)尺寸以(yi)實際為準）

16. 三軸接口探針(zhen)座

17. 空氣壓縮機

18. 可選配高低溫(wen)同軸(zhou)卡盤、半自動探針臺、干燥空氣(qi)系統等(deng)。