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YA樣品臺
主要用于硅和藍寶石(shi)等單晶(jing)的大(da)型晶(jing)體柱面及(ji)片的檢(jian)測(ce)(ce),增加了承(cheng)重軌道,可(ke)測(ce)(ce)重1-30公斤,直(zhi)徑2-8英寸(cun)棒。同時加有氣泵,可(ke)測(ce)(ce)2-8英寸(cun)片狀(zhuang)樣品。
YB樣品臺
主要用于硅及(ji)藍寶石(shi)等(deng)單晶的(de)圓柱形晶體(ti)的(de)端(duan)面(mian)檢測,增(zeng)加了承重(zhong)軌道(dao)。樣(yang)品臺采用V型槽(cao)設(she)計(ji),V型槽(cao)的(de)寬度可自動調整,便于不同規格大型圓柱形晶體(ti)在樣(yang)品臺上360°旋轉。人性化的(de)設(she)計(ji),使設(she)備更合理,可測重(zhong)1-30公斤、直徑(jing)2-8英寸、長350mm棒材端(duan)面(mian),同時加有氣泵,可測2-8英寸片狀樣(yang)品。
YD樣品臺
主要用于硅(gui)及(ji)藍(lan)寶石等單(dan)晶片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)外圓參考面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢測,吸氣(qi)盤(pan)上接收(shou)X射線的(de)(de)(de)(de)(de)(de)位置(zhi)采用開放式(shi)設計,克服了吸氣(qi)盤(pan)遮(zhe)擋X射線和定位不(bu)準的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問(wen)題,滿(man)足不(bu)同(tong)規(gui)格晶片參考邊的(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢測。樣品臺的(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)泵可把(ba)2-8英(ying)寸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)晶片吸住(zhu),使檢測更(geng)加(jia)準確(que)。
Ye樣品臺
主要用(yong)于硅和藍(lan)寶石等晶(jing)片的(de)多點(dian)測量(liang),晶(jing)片可在(zai)樣品臺上手動旋轉(zhuan),如(ru)0°、90°、180°、270°等,可滿(man)足客戶對晶(jing)片的(de)特殊測量(liang)需求。
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