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YXL-2型X射線水晶粘料晶體定向儀特點:
該(gai)儀器采(cai)用單側工作(zuo)(zuo)臺和(he)雙側工作(zuo)(zuo)臺兩種,單側工作(zuo)(zuo)臺為(wei)水晶晶棒粘(zhan)(zhan)料機(ji),該(gai)粘(zhan)(zhan)料機(ji)與切(qie)割機(ji)配套,用于AT切(qie)型、晶棒以大R面定(ding)位,采(cai)用千分尺(chi)微(wei)調,層數升降依靠與晶棒對(dui)應的(de)墊條(tiao)來完(wan)成。
晶棒在料板上+X面(mian)向上粘(zhan)接,雙側工(gong)作臺是(shi)一側粘(zhan)料,另一側為(wei)300型定向儀(yi),用于切割(ge)后(hou)晶片的檢測。
YXL-3型水晶粘(zhan)料定向儀(yi)工作原理與YXL-2型工作原理相同(tong),只是晶棒(bang)在料板上-X面向上粘(zhan)接。
技術指標:
●輸 入(ru) 電(dian) 源: 單相交流電(dian)壓220V,50Hz,0.3KW
● X 射 線 管: 銅(tong)靶,風冷
●計 數 器: 蓋革計數管
●時(shi) 間 常 數: 0.1、0.4、3秒三檔
●測 角 范 圍: θ=-10°— 50°,2θ=-10° —100°
●角(jiao) 度(du) 讀(du) 數: 刻度(du)環上標出zui小讀(du)數為(wei):2θ:1°,θ:1°
●光 閘: 手動
●顯(xian) 示(shi): 數字角度顯(xian)示(shi)
●綜 合 精 度(du):±10″
●主機型號采用: YX-300型
●外 形(xing) 尺 寸: 1140mm(長)×650mm(寬) ×1100mm(高(gao))
●重(zhong) 量: 180kg
YXL-2型X射線水晶粘料晶體定向儀主要參數:
●粘板尺寸: 330mm(300mm)×200mm (190mm)×20mm或250mm×250mm×20mm
●晶棒厚度(du):10、9、8、7
●粘接層(ceng)數: 5(6)
●層數調節(jie): 墊條
●料板固定方式: 磁鐵
●料板(ban)移動方式: 進口精(jing)密(mi)導軌
●粘(zhan)接(jie)精度:±10"
●粘接(jie)精度顯(xian)示:數字/模(mo)擬率表(biao),具(ju)有峰(feng)值
●記憶功(gong)能
●zui小讀數(shu):1"和(he)3"兩種
●主機型(xing)號: YX-300
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