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晶體定向儀晶體定向切割方法介紹

點擊次數:6984 發布時間:2017-10-27


      晶體定向儀:X射線晶體定向儀利(li)用X射線(xian)衍(yan)射原(yuan)理(li),精密快速地測(ce)定(ding)天(tian)然(ran)和人(ren)造單晶(jing)(壓電晶(jing)體(ti)(ti)(ti),光學(xue)晶(jing)體(ti)(ti)(ti),激光晶(jing)體(ti)(ti)(ti),半(ban)導體(ti)(ti)(ti)晶(jing)體(ti)(ti)(ti))的(de)(de)切割角(jiao)度,與切割機配套可用于上述(shu)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)定(ding)向切割,是精密加工制造晶(jing)體(ti)(ti)(ti)器件*的(de)(de)儀器。該儀器廣泛應用于晶(jing)體(ti)(ti)(ti)材料的(de)(de)研(yan)究,加工,制造行業(ye)。


      各向異(yi)性(xing)是晶(jing)體的(de)(de)本征(zheng)特性(xing),即晶(jing)體在不(bu)(bu)同方(fang)向上(shang)(shang)(shang)具有不(bu)(bu)同的(de)(de)光學(xue)、電學(xue)、力學(xue)等(deng)物理性(xing)能,在應用(yong)時,根據(ju)使用(yong)目的(de)(de)不(bu)(bu)同, 必須對晶(jing)體進行不(bu)(bu)同的(de)(de)定向切(qie)割。例如,要(yao)制(zhi)作性(xing)能優異(yi)的(de)(de)Si 壓力傳感器 ,必須利(li)用(yong) Si 單晶(jing)在( 001) 面(mian)上(shang)(shang)(shang)的(de)(de) 110 方(fang)向壓阻效應zui大的(de)(de)特性(xing), 定向切(qie)割出 Si( 001) 面(mian), 并在此面(mian)上(shang)(shang)(shang)標出 110 方(fang)向, 在此面(mian)上(shang)(shang)(shang), 沿著(zhu) 110 方(fang)向制(zhi)作電阻。 AgGaSe 2 晶(jing)體 一般采用(yong)自發(fa)成核 Bridgman 方(fang)法生(sheng)長, 生(sheng)長出的(de)(de)晶(jing)錠無明(ming)顯方(fang)向特征(zheng), 要(yao)研究 AgGaSe 2 晶(jing)體對粒子的(de)(de)探測(ce)性(xing)能, 必須定向切(qie)割出( 001) 面(mian)。


     晶(jing)體定(ding)向(xiang)(xiang)方法(fa)(fa)很多(duo), 如(ru)光象法(fa)(fa) 、錐(zhui)光圖(tu)法(fa)(fa)、勞埃定(ding)向(xiang)(xiang)法(fa)(fa) 以及近年來利(li)用(yong)定(ding)向(xiang)(xiang)儀發(fa)展的(de)幾種(zhong)快(kuai)速(su)定(ding)向(xiang)(xiang)法(fa)(fa)等. 光象法(fa)(fa)、錐(zhui)光圖(tu)法(fa)(fa)應用(yong)非(fei)常局限, 精度很差, 且無(wu)法(fa)(fa)定(ding)向(xiang)(xiang)切(qie)割(ge)出任意(yi)晶(jing)面. 勞埃法(fa)(fa)雖然很經(jing)典、適用(yong)性(xing)(xing)廣(guang), 但定(ding)向(xiang)(xiang)過程十(shi)分繁瑣(suo)、費時, 對操作者(zhe)要求有較豐富(fu)的(de)經(jing)驗. 利(li)用(yong)定(ding)向(xiang)(xiang)儀的(de)幾種(zhong)快(kuai)速(su)定(ding)向(xiang)(xiang)法(fa)(fa), 具(ju)有較強的(de)實用(yong)性(xing)(xing), 但要定(ding)向(xiang)(xiang)切(qie)割(ge)出任意(yi)晶(jing)面, 其操作過程也很繁瑣(suo)。


      我們(men)發展(zhan)了一種僅(jin)需已知(zhi)(zhi)晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)某一晶(jing)(jing)(jing)面(mian)(mian),即能定(ding)向切(qie)割(ge)出(chu)所需任(ren)意晶(jing)(jing)(jing)面(mian)(mian)( 或晶(jing)(jing)(jing)向) 的(de)方法(fa)(fa)(fa),定(ding)向切(qie)割(ge)操作快速(su)、準確(que)、簡捷。 在實際工作中,已知(zhi)(zhi)晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)的(de)某一晶(jing)(jing)(jing)面(mian)(mian)是普遍存在的(de)事實,例如(ru)提拉(la)法(fa)(fa)(fa)、水(shui)溶液法(fa)(fa)(fa)、水(shui)熱法(fa)(fa)(fa)和熔鹽法(fa)(fa)(fa)生長的(de)晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti),至少已知(zhi)(zhi)某一晶(jing)(jing)(jing)面(mian)(mian)。無籽晶(jing)(jing)(jing)的(de)焰熔法(fa)(fa)(fa)和 Bridgman 等(deng)法(fa)(fa)(fa)生長的(de)晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)一般雖無方向特征, 但因(yin)解理(li)性是晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)的(de)基(ji)本屬性, 很容易(yi)從晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)上得(de)(de)到(dao)易(yi)解理(li)面(mian)(mian)。焰熔法(fa)(fa)(fa)生長的(de)紅寶石極易(yi)得(de)(de)到(dao)其解理(li)面(mian)(mian)( 1102) 或( 1120) , 用(yong) Brigdman 方法(fa)(fa)(fa)生長的(de)AgGaSe2 晶(jing)(jing)(jing)體(ti)(ti)極易(yi)得(de)(de)到(dao)( 101) 或( 112) 解理(li)面(mian)(mian)。 因(yin)而(er),此法(fa)(fa)(fa)在實際工作中具有很強(qiang)的(de)實用(yong)性和推廣(guang)價值(zhi)。

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